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0.15 µm CMOSProzess-AufbauLF150 ist ein modularer 0.15µm RF CMOS Prozess mit bis zu 6 Verdrahtungsebenen (Alu) plus einem dicken Metall (2 - 6µm), einer optionalen MIM Kapazität, einer Polyimide Passivation und I/O mit eine Spannungen von 1.8V, 3.3V bis 5.0V.
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